TY  - BOOK
AU  - Hilleringmann, Ulrich
AU  - Hilleringmann,Ulrich
TI  - Silizium-Halbleitertechnologie
T2  - Teubner-Studienskripten; 149: Elektronik
SN  - 3519001497
PY  - 1996///
CY  - Stuttgart
PB  - Teubner
ER  -