Hilleringmann, Ulrich <br/><br/>
Silizium-Halbleitertechnologie 
Ulrich Hilleringmann 
 - Stuttgart  Teubner  1996 
 - 280 S. 
 - Teubner-Studienskripten; 149: Elektronik .
<br/><br/><label>ISBN: </label>3519001497