Münch, Waldemar von <br/><br/>
Einführung in die Halbleitertechnologie 
Waldemar von Münch 
 - Stuttgart  Teubner  1993 
 - 264 S. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>3519061678 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Halbleiter